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应用文章
日立离子研磨仪IM4000在OLED领域的应用


多层OLED器件结构较为复杂,在有机与无机材料层界面间容易产生内应力,导致在弯曲时造成层与层间的剥离,这使得生产大尺寸柔性OLED面板时的良品率极低,日立的离子研磨仪IM4000的截面加工效果优异,独特的离子束汇聚离子枪设计及样品摆动设计,加工效率高,低损伤的特点,实现对OLED截面观察有效的监控产品的合格率。

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