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日立电镜三维解析方案之白光干涉仪


白光干涉仪可以通过光的干涉来测量样品表面的3D形貌,即样品表面反射的光与参比光相干形成亮暗交替的条纹,这些条纹类似于等高线,从中可以得到样品的高度信息。相比于其他3D分析方法而言,白光干涉仪可以实现非接触、大面积、快速、高精度测量。

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