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高纯氦气痕量杂质快速分析

超高纯度惰性气体在电子工业,半导体工业和分析检测中都有重要的应用,如作为保护气,和作为分析的载气等。因此相关的工业过程对超高纯气体里的杂质有着非常严格的要求,微量的永久性气体和二氧化碳检测是必不可少的,因为这些成分会影响气体的质量,从而影响工业过程及其价值。本文利用气相色谱法(脉冲放电氦电离化检测器(PDHID))实现对高纯氦气中的ppb级杂质气体组分完全分离后进行痕量组分定量分析。

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