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Atlas在半导体晶圆检测中的应用


晶圆是制造半导体器件的基础性原材料,经过一系列复杂的半导体制造工艺最后得到芯片成品。在此过程中,对原材料晶圆的品质管控就变得非常重要,如对材料成分均匀性、元素含量,微区的颗粒、划伤或污染等精密检测,而Atlas是一款软件功能强大的微区X射线荧光光谱仪,准确度和灵敏度较高,测试速度快,同时又具有动态观察、微区分析、避免直接接触或破坏样本的无损分析等优势,能满足晶圆的分析要求。

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