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高效率加工FIB MI4050


日立新型MI4050型FIB系统可实现高效率加工,束流最大达90nA以上连续可调,自动Cut&See,可以不断观察切割的样子,精度高,稳定性好。采用FIB+SEM的解决方案,两者各自功能独立,可以保证最大使用效率,此外两者的维护周期不重叠,两者各自功能独立,也可以保证最大使用效率。

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